产品名称
非接触式卡盘
产品型号
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产品类型
非接触式卡盘
产品简介
非接触式吸板结合了负压和正压，可对工件进行精确的非接触式吸附，甚至可吸附薄至 0.1 毫米的玻璃。 通过负压预紧，可抑制高度方向上的位移和振动，在保持恒定间隙的同时，通过模仿输送面形成精密的平面。
材料
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产品用途
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产品规格
【产品规格】
・工作温度范围：23±2°C
・工作压力
供气压力：最高 0.5 MPa
吸气压力：至 FV
・基本尺寸： □250 x □76 x 50 (mm)
【产品特点】
(1) 使用多孔碳
多孔孔径实现了高效率，减少了空气消耗量。 由于多孔材料具有出色的骨架强度，粉尘排放量也很低。
(2) 独特的非接触式技术
通过结合供气压力和吸气压力，可以调节间隙。 相对于输送表面，浮动间隙是均匀的。 吸孔的优化设计允许在轻微负压的情况下施加预紧力。
(3) 基本特性高
支撑工件的流体膜高度稳定。 工件的整个表面都受到流体膜的均匀支撑。 工件不受力。
