产品名称
全碳制吸盘
产品型号
-
产品类型
全碳制吸盘
产品简介
真空吸盘完全由碳材料组成，结合了多孔碳吸附剂和高强度碳结构。 平均孔径为 4 微米，非常细，因此不会发生吸附痕迹的转移。 它重量轻，即使在严酷的温度条件下也不会变形或断裂，并具有出色的电气性能。
材料
-
产品用途
晶圆吸附等
产品规格
【产品规格】
・工作温度范围
多孔碳 x 高强度碳：最高 250°C
多孔碳 x 其他材料：23 ± 2°C
・工作压力
-0.1 ~ 0.1 MPa
・尺寸（吸附部分）
圆形：最大 ø450 (mm) / 方形：最大 □350 (mm)
【产品特点】
(1) 防止晶圆带点
碳是一种优良的导体。 由于几乎不带电，工件在吸附时会接地。 表面电阻可通过涂层（附加规格）调整到静电扩散区域。
(2) 适用于高温环境。
在空气中的耐热温度为 250°C，在惰性气体中的耐热温度为 900°C。 抗热震性强，不会因急剧加热或冷却而损坏。 (2) 由相同的材料构成，因此不太可能出现因热膨胀差异而导致的精度变化，尺寸稳定性极佳。
(3) 重量轻，减轻设备负担。
多孔碳的结壳密度低，仅为 1.2 克/立方厘米。
重量轻增加了设备设计的自由度。
【介绍支持】
可租赁吸板。
客户可以在自己的环境中检查其性能。
