产品名称
PC系列 CMP研磨液供给泵
产品型号
PC系列
产品类型
用于CMP工艺中的液体供给与循环
产品简介
PC系列专为CPM工艺和固液混合流体的应用而设计。
材料
接触液体部件：PFA, PTFE
产品用途
用于化学进料设备、清洗系统和CMP设备的循环管路，处理固液混合流体。
产品规格
运行期间液体温度：10~100°C
最大吐出量：12、24、48L/min
供给空气压力：0.2~0.5MPaG
※使用前请阅读操作手册。
